机译:用于一维纳米通道制造的相移光刻上的光致抗蚀剂图案上的原子层沉积
机译:使用原子层沉积的选择性沉积接触构图,用于制造晶体硅太阳能电池
机译:前言:原子和分子层处理的专题:沉积,图案化和蚀刻
机译:通过FIB图案,湿法蚀刻和原子层沉积来无阻地制造嵌入式纳米通道
机译:用于器件应用的热原子层沉积和热原子层蚀刻
机译:通过组合激光诱导的背面湿法蚀刻和激光诱导的化学液相沉积方法将耐用的微铜图案沉积到玻璃中
机译:前言:原子和分子层处理的专题:沉积,图案化和蚀刻
机译:从金属纳米线图案转移的20nm嵌入纵向纳米通道的制造